产品名称
NAVITAR-easy reader自动对焦系统
发布时间
2017-04-26
点击次数
394
NAVITAR-easy reader自动对焦系统
为适应自动光学检查系统 (AOI) 的不断增长的需求,Navitar 推出了一种 Easy Reader 自动对焦变焦系统。利用数字信号处理 (DSP) 技术,这些系统能够自动调节焦距。
• 采用三角单束激光测量的原理。
• 激光针对显微镜的目标区域,不断地测量和报告最佳聚焦距离,然后电路驱动运动平台在Z轴移动,实现快速聚焦。
• 能在几乎各种物体表面实现聚焦。
– 反射表面,漫射表面。
– 低反射的表面。(down to 1%)
透明和不透明的物体
Navitar 自动对焦系统广泛应用于以下领域:
• LCD TFT array inspection and repair
(液晶面板的检测和修复)
• - FPD color filter inspection and repair
(玻璃基板的检测和修复)
• - Photo-lithography mask inspection and repair
(掩膜的检测和修复)
• - Magnetic head inspection 磁头检测。
• - Silicon wafer inspection 晶圆的检测
• - CMM machines 自动机器的装配
• - Printed circuit board inspection 线路板的检测
• - Bio-tech HCS 生物医学仪器
Key Features
主要功能
• Accuracy 精度
– No manual corrections required after focusing。实现聚焦后,无需人工修正。
• Tracking AF capability 聚焦追踪
• Speed: (自动对焦速度)
– Zero focusing delay in tracking mode。在追踪模式没有延迟。
– 0.2 s maximum after objective change (小于0.2S)
– vastly improves equipment tact time 大幅提高设备操作时
间
• Broad AF Range 大范围自动对焦
– Relaxes chuck flatness requirements and thus reduces the instrumentation cost
• Slectively focuse on top or bottom surface of the array.
• Ideal for Cell & Module applications
NAVITAR-easy reader自动对焦系统
NAVITAR-easy reader自动对焦系统
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