激光器滤光片视觉检测系统
激光器滤光片视觉检测系统采用视觉检测系统和精密三轴运动平台实现对微型滤光片表面的全自动检测。检测内容包括滤光片表面划痕、灰尘、气泡、崩边、磁环Mark点检测、磁环崩边检测等。检测缺陷精度达到0.01mm。系统具有自动聚焦、自动报警、数据统计、自动图像保存等功能。检测速度达到每小时500-1000个。
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